MOCVD 前導物

陶氏電子材料事業群是LED製造所用的III-V族有機金屬化學氣相沉積(MOCVD)前導物的主要供應商,在此市場領域擁有超過35年的經驗,所提供的産品包括有三甲基鎵、三甲基鋁、三甲基銦和其他前導物。

我們利用我們對材料和應用的深刻瞭解來開發超出前導物範圍的解决方案,這包括我們在業內處於領先地位、可應用於液體和固體MOCVD前導物的傳送技術。

在傳送技術方面的專業力量
我們擁有的專利、代表最先進技術之UNIFLO™ 鋼瓶能够實現固體前導物的材料最大化利用率,而且能够確保材料輸出的穩定流動。我們同時還推出了革命性的VAPORSTATION™ 中央傳送系統,這種傳送技術可以使用戶端僅從一個鋼瓶就可同時供應多台反應爐,從而提高了控制水準,消除了更換前導物所需的反應爐停機時間,實現了最高水準的安全性並降低了購置成本。

傳送技術
實現高效率的LED磊晶片製造

VAPORSTATION™ 中央傳送系統

UNIFLO™ II 鋼瓶